當真空爐可以正常工作後,李元向著身後做了一個手勢。
一直心焦等著結果的人,頓時歡呼起來。
李元笑著轉身,開啟坩堝加熱裝置。
透過觀察視窗,可以看見,坩堝外圍的銅管線圈開始變紅。
他時不時地控制著真空度。
不一會,穿戴整齊的肖師傅走了進來,開始接管真空度控制工作。
李元專心觀察坩堝裡的變化。
不久,矽粉開始融化。
直到全部融化為通紅的液體,他控制著提拉抓手下落。
當抓手下的籽晶落入液麵,頓時一層液體包裹住籽晶。
他控制著電機,籽晶邊旋轉,邊上拉。
一個直徑不下3英寸的晶柱被緩緩拉起。
當單晶柱生長到5mm左右時,晶柱慢慢變細,直到斷裂。
李元知道,旋轉和提拉速度的配合出現了問題。
因為設計之初,就考慮到這種配合問題,所以,其中一個傳動齒輪設計成圓錐體。
只有調整這個圓錐體的切入深度,就能夠調整旋轉和提拉速度。
根據經驗,李元調慢一絲。
實驗繼續。
調整,失敗,再調整,再失敗。。。
中途雖然也得到過幾次1尺多長的單晶柱,但這不是真空提拉爐的設計產能。
實驗繼續。
直到兩天後,李元終於製備出一條4英寸、米高的單晶柱。
當李元開啟真空爐,從裡面抱下這根單晶柱,其他實驗室的人全都跑出來,趴在玻璃上看著熱鬧。
黃燕開心地拍著李元的後背,她昨天,也加入了真空爐的除錯。
“成功了?”
“成功了!”,李元的聲音都在顫抖。
黃燕轉向大廳,看著已經陷入歡樂海洋中的師兄、師弟、師妹們,哈哈大笑。
龔師兄坐著沒動,臉上慢慢留下一粒粒淚水。
當初他意氣風發,主抓半導體實驗室,短短几年內取得了驕人的成績。
正當他準備大展拳腳的時候,他的工作被停止。
實驗室被關停。
然後就是領導談話。
他當時是迷茫的,心中一直憋著一股火。
來到這個地下實驗室,從此變得岌岌無名,還要聽從小師弟的指揮。
他迷茫過,也痛苦過。
在老師的勸導下,最後還是說服自己,從此配合好李元這個小師弟。
直到安裝起來真空提拉爐,他一直期盼著成功的那一天。
今天成功了,心中的鬱結得到了緩解。
看著蹦蹦跳跳、沒心沒肺的黃燕,他笑了,也哭了。
無塵實驗室裡,黃燕慢慢冷靜。
她開始專心地清理坩堝,並加入新的矽粉。
在李元的指導下,關閉真空爐,開始抽真空。
1個半小時後,除了真空度需要人工控制,單晶棒的製備完全是自動完成。
結果非常喜人,黃燕利用真空爐,也得到一根同樣尺寸的單晶柱。
黃燕激動地和李元擊掌相慶。
龔師兄,坐在大廳裡,開心地看著他們。
二人走出無塵車間。
“今天早下班,一人一斤肉票,一斤花生油”。
實驗室頓時變成了歡樂的海洋。
這些李元都早有準備,就是為的這一天。
大家都離開後,三人坐在大廳。
“下一步幹什麼?”,黃燕問道。
“切割成晶圓,然後進行打磨和拋光。
然後接著試驗氧化爐”。
“氧化工作我負責吧?”,龔師兄道。
“不,氧化工作交給艾老師。師兄你以後的工作主要是設計電晶體和專用晶片。
先設計一款自動控制真空爐的專用晶片,封測交給畢老師。”。
“那你呢?”
按照大家的討論,所有工藝節點都有人負責,獨獨沒有提到李元自己。
“我想設計一款半導體儲存器,現在的磁芯儲存器可靠性太差,體積也太大”。
“如果設計成功,確實是計算機的福音”,龔師兄認可道。
“接下來我們是繼續製作這個規格的單晶棒,還是探索直徑的增加?”,黃燕問道。
“先繼續生產吧,先滿足那些研究所的使用。
同時你帶人固化操作規程,整理真空提拉爐的圖紙和檔案,便於後續交付”。
“這個工作交給我沒有問題,但是需要你、肖師傅的參與”。
“沒有問題”。
大家都離開後,李元給上級打了一個電話。
晚上9點時,一輛帶著斗篷的卡車駛入變電站。
兩根單晶棒仔細包裹,小心翼翼地送走。
當天夜裡,某研究所的一個實驗室,兩根單晶棒放在實驗臺上。
“這怎麼可能!這樣規格的單晶棒居然都能買到,太不可思議了!”,某個眼鏡男驚詫道。
“是啊,現在國外的技術發展太快了,剛剛釋出3英寸的晶圓,這就整出來4英寸的。
照這樣的節奏,5英寸、6英寸的晶圓也會陸續推出”,研究員A道。
“哎,這就是差距!”,研究員B道。
“我們什麼時候能夠用上自己的晶圓?”,研究員C感嘆道。
“我聽同學講,華清大學早就研究出了3英寸的晶圓”,研究員D道。
“最後不是闢謠了,是實驗室偶爾製備出的一小節,以後再也沒有復現過”,研究員A道。
“可惜了,為什麼就不能固化工藝?希望他們能夠儘快復現”,研究員D道。
“我有一個同學在華清大學半導體實驗室,他們現在已經放棄繼續研究晶圓,而是開始研究電晶體的設計實現。
他們和香江大學展開了深度合作,據說能夠拿到3英寸的晶圓”,研究員C道。
“為什麼要放棄?難以理解!”,研究員D道。
“據說是投入太大,不如直接採購晶圓”,研究員C道。
“別人的永遠是別人的,晶圓不能成為我們的瓶頸”,研究員D道。
“差距越拉越大,我們3英寸都沒有搞明白,對方已經推出了4英寸的”,研究員C道。
“好了,你們不要討論這些了,想想如何切割、以及後續的工藝流程吧”,一個領導樣子的人走了進來。
眾人紛紛開始討論接下來的工作。
“對了,這兩根完整的單晶棒得之不易,你們要注意保密”。
眾人紛紛點頭。
時間回到地下實驗室。
自從研製出4英寸單晶棒,地下實驗室的工作重心,便放在瞭如何轉化技術上。
肖師傅大部分時間負責接下來的晶圓切割。
雖然剛開始非常不順利,李元也沒有伸手的意思。
現在的實驗室已經開始運轉,所有人,都需要各司其職。
只有不斷的練習,才能夠儘快適應。
半個月後,第一片晶圓研磨拋光完成,同時氧化爐也除錯完成。